半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間：半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)環(huán)境的要求

    由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間

    1、室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)

    2、垂直流潔凈室滿(mǎn)布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

    3、與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

    4、潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值：

    5、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

    6、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。

    7、凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量。半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間